中原大學化學工程學系

電漿程序實驗室
指導教授: 魏大欽

研究專長: (1)高分子薄膜之電漿改質，以應用於薄膜分離及生醫工程。 (2)應用於半導體及光電工業之電漿製程。 (3)電漿製程之數值模擬及電漿診斷。 (4)應用於污染防治及能源工業之電漿技術。 (5)以高溫電漿技術製備功能性奈米粉體。

研究室位置：: 工學719室

研究室分機：: 4139

碩士生：: 碩二：盧惟中、黃政維、邱翊庭碩一：張舒涵、趙廷儒、廖庭郁

本實驗室致力於電漿領域的研究，而電漿技術在各產業上也有廣泛的應用，如光電產業、半導體產業、民生化學工業、生醫材料以及汙染防治等，其技術運用在電漿內所產生的電子、離子及不帶電的氣體分子與具活性的自由基，藉由控制上述的電漿內部物種特性，可用在乾式蝕刻、鍍膜以及材料表面改質等製程。其中以材料表面具機能性之加工處理最為廣泛，主要原因為電漿處理僅對材料或產品的表面進行特性改善，對於產品並不會造成本體性質改變。