本實驗室致力於電漿領域的研究，而電漿技術在各產業上也有廣泛的應用，如光電產業、半導體產業、民生化學工業、生醫材料以及汙染防治等，其技術運用在電漿內所產生的電子、離子及不帶電的氣體分子與具活性的自由基，藉由控制上述的電漿內部物種特性，可用在乾式蝕刻、鍍膜以及材料表面改質等製程。其中以材料表面具機能性之加工處理最為廣泛，主要原因為電漿處理僅對材料或產品的表面進行特性改善，對於產品並不會造成本體性質改變。